真空泵
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真空泵的范围要求及工作压强

来源:真空泵 作者:真空泵 点击:
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,或二极型非对称阴极溅射离子泵,对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。真空泵会有效的根据实际情况调节增压泵的延时,将增压泵断路器接通,按下增压泵控制按钮,增压泵指示灯亮,同时增压泵运转。油井内设有油位开关,当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警,同时系统关闭。

责任编辑:真空泵 整理时间:2020-2-26 19:44:19
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